等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，也叫第四種狀態(tài)（通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在），
真空等離子表面處理儀就是利用高壓電源在一定的壓力條件下對氣體施加足夠的能量而產(chǎn)生。
等離子體技術(shù)最大的特點是不分材料的幾何形狀和類型，均可進行PLASMA處理，對金屬、半導(dǎo)體、氧化物、PET纖維、PDMS、PTFE、ITO/FTO導(dǎo)電玻璃、硅片和大多數(shù)高分子材料，如液晶高分子、聚丙烯、聚脂、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、聚四氟乙烯和石墨烯粉末、金屬氧化物粉末、硼粉、鋁粉、熒光粉等都能很好地處理，可實現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗、活化、改性、蝕刻。
真空等離子表面處理儀由等離子發(fā)生器，氣體輸送管路及等離子噴頭等部分組成，等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻能量在噴嘴鋼管中被激活和被控制的輝光放電中產(chǎn)生低溫等離子體，借助壓縮空氣將等離子噴向工件表面，當?shù)入x子體和被處理物體表面相遇時，產(chǎn)生了物體變化和化學(xué)反應(yīng)。
表面得到了清潔，去除了碳化氫類污物，如油脂，輔助添加劑等，或產(chǎn)生刻蝕而粗糙，或形成致密的交聯(lián)層，或引入含氧極性基團(羥基、羧基)，這些基團對各類涂敷材料具有促進其粘合的作用，在粘合和油漆應(yīng)用時得到了優(yōu)化。在同樣效果下，應(yīng)用等離子體處理表面可以得到非常薄的高張力涂層表面，有利于粘結(jié)、涂覆和印刷。不需其他機器、化學(xué)處理等強烈作用成份來增加粘合性。
