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我們應(yīng)該如何去選擇勻膠機(jī)?

更新時(shí)間:2022-06-10   點(diǎn)擊次數(shù):1715次
   旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)一般采用設(shè)備是勻膠機(jī),它是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備,膜的厚度取決于該機(jī)的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
  
  那么,我們應(yīng)該如何選擇勻膠機(jī)?
  1、旋轉(zhuǎn)速度:轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤該機(jī)圖冊差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端設(shè)備只能提供轉(zhuǎn)速范圍,并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。
  
  2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
  真空泵一定要無油的,壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?,會?dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題,這一點(diǎn)許多國外的設(shè)備做得不錯,他們有通過聯(lián)動機(jī)制,如果真空吸附力不夠的時(shí)候,不會開始旋轉(zhuǎn)。
  
  3、材質(zhì)的選擇
  它對于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,國產(chǎn)的大部分設(shè)備采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì),因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導(dǎo)致旋涂時(shí),時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯(特氟?。┎馁|(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強(qiáng)度大、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。
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